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News
2020-03-14
1、體加工工藝 體加工工藝包括去加工(腐蝕)、附著加工(鍍膜)、改質加工(摻雜)和結合加工(鍵合)。主要介紹腐蝕技術。腐蝕技術主要包括干法腐蝕...
2020-03-14
LIGA與準LIGA技術 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開發(fā)了進行三維微細加工最有前途的方法——LIGA技術。 ——LI,Lithographier,即深度X射...
2020-03-13
MEMS研究的歷史 MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術,它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。 隨著人類社會全...
2020-02-21
MEMS即Micro-Electro-Mechanical System,它是以微電子、微機械及材料科學為基礎,研究、設計、制造、具有特定功能的微型裝置,包括微結構器...
2020-02-21
MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術,它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。 隨著人類社會全面向信息化邁進,信息系統(tǒng)的...