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飛秒激光微納加工的動力學原理

點擊量：1587 日期：2021-11-26 編輯：硅時代

　　由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達到0.7um）等優(yōu)勢，飛秒激光在精細加工及微納加工技術(shù)的隱形切割方面都取得了很大的進展。

　　根據(jù)不同的特性，飛秒激光作用的領域也不盡相同：
1、其熱影響區(qū)域小，加工精度高可用于表面微加工及納米級深孔加工工藝；
2、根據(jù)其加工精度高，微型化能力強可用于光通信領域中光波導、光柵、光子晶體、微通道等的制備；
3、根據(jù)其“冷”加工，能量消耗低、準確度高的優(yōu)點，可在生物領域有很強的應用前景。

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